व्हॅक्यूम घटक

उष्णतेच्या उपचारामध्ये प्रामुख्याने ऑक्सिडेशन, डिफ्यूजन आणि अॅनिलिंग प्रक्रियांचा समावेश होतो.ऑक्सिडेशन ही एक जोड प्रक्रिया आहे ज्यामध्ये सिलिकॉन वेफर्स उच्च-तापमानाच्या भट्टीत ठेवतात आणि ऑक्सिजन जोडले जातात ज्यामुळे वेफरच्या पृष्ठभागावर सिलिका तयार होते.डिफ्यूजन म्हणजे उच्च एकाग्रतेच्या क्षेत्रापासून कमी एकाग्रतेच्या प्रदेशात आण्विक थर्मल हालचालींद्वारे पदार्थ हलवणे आणि प्रसार प्रक्रियेचा उपयोग सिलिकॉन सब्सट्रेटमध्ये विशिष्ट डोपिंग पदार्थ डोप करण्यासाठी केला जाऊ शकतो, ज्यामुळे सेमीकंडक्टरची चालकता बदलते.